Sistema de recozimento térmico rápido de RTP-150RL com três gás do processo dos grupos

RTP-150RL:
Está na atmosfera da proteção do sistema recozer rápido manual desktop, com bolacha clara visível ou a amostra infravermelha da parte do aquecimento a única, tempo curto do processo, precisão de controle de alta temperatura, apropriada para a bolacha da polegada 2-6. Sua projeto original da cavidade, tecnologia avançada do controle de temperatura e um sistema de controlo de software RL900 original sobre sistemas de recozimento convencionais da fornalha de difusão asseguram a uniformidade térmica excelente comparada com outros sistemas do RTP.

Características de produto:

1. Aquecimento infravermelho do tubo da lâmpada do halogênio, refrigerando usando refrigerar de ar.

2. O controle de temperatura do PID do poder do tubo, pode exatamente controlar o aquecimento da temperatura, para assegurar a boa uniformidade da reprodutibilidade e da temperatura.

3. O método paralelo da entrada de ar é adotado, e a entrada do gás é ajustada na superfície da bolacha para evitar pontos frios durante o processo de recozimento e para assegurar a boa uniformidade da temperatura do produto.

4. O ar e os métodos de tratamento do vácuo podem ser selecionados, antes do tratamento da purificação do gás de ar da entrada.

5. Padrão com três grupos de gás do processo.

6. O tamanho máximo de uma única amostra mensurável da bolacha é 6 polegadas (150mm).

7. As medidas de segurança triplas da proteção de abertura da temperatura da segurança da fornalha, da proteção da autoridade da abertura do controlador de temperatura e da proteção da segurança da parada de emergência do equipamento são adotadas para assegurar a segurança dos instrumentos.