WF6 refere-se ao hexafluoreto de tungstênio, que é um composto químico composto por um átomo de tungstênio ligado a seis átomos de flúor.
- Fórmula química: WF6
- Peso molecular: 297,84 g/mol
- Estrutura: WF6 tem uma geometria molecular octaédrica, com o átomo de tungstênio no centro e seis átomos de flúor dispostos em torno dele.
- Propriedades físicas: O hexafluoreto de tungstênio é um líquido verde-amarelado, volátil e corrosivo à temperatura ambiente.Tem um forte odor e pode formar vapores brancos quando exposto ao ar devido à sua reação com a umidade.
- Utilizações: O WF6 é usado principalmente na indústria de semicondutores para processos de deposição química de vapor (CVD).que são utilizados como camadas condutoras e de barreira em circuitos integrados e outros componentes eletrónicos.
- Reatividade: O hexafluoreto de tungstênio é altamente reativo e reage facilmente com água, umidade e muitos outros compostos.Hidroliza na presença de água para formar ácido tungstico e ácido fluorídrico, que são substâncias corrosivas.
- Considerações de segurança: O WF6 é altamente tóxico e corrosivo, podendo causar queimaduras graves e danos oculares em contacto com a pele ou os olhos.A inalação de seus vapores pode causar irritação respiratória e danos nos pulmões.Devem ser seguidas medidas de segurança adequadas, incluindo a utilização de equipamento de protecção e ventilação adequados, quando se manipular e trabalhar com WF6.
- Armazenamento e manuseio: O WF6 é tipicamente armazenado e transportado em cilindros ou recipientes feitos de materiais resistentes às suas propriedades corrosivas, como o aço inoxidável.Deve ser tomado especial cuidado para evitar a exposição à umidade, uma vez que pode reagir com água ou humidade no ar.
- Impacto ambiental: o WF6 não é considerado um gás com efeito de estufa significativo ou uma substância que destrói a camada de ozono.O seu manuseio e eliminação devem ser efectuados em conformidade com a regulamentação local e as melhores práticas para minimizar o impacto ambiental.
Especificações do produto:
GAS de hexafluoreto de tungstênio WF6
Número CAS: 7783-82-6
EINECS n.o: 232-029-1
Número da ONU: UN2196
Pureza: 99,999%
Classe de pontos: 2.3
Aparência: incolor
Padrão de grau: grau de elétron, grau industrial
O COA do produto:
Elementos de ensaio |
Unidades |
Requisitos de qualidade |
Resultados dos ensaios |
CF4 |
ppm |
< 0.5 |
< 0.01 |
O2 |
ppm |
< 0.5 |
< 0.01 |
N2 |
ppm |
< 1 |
0.03 |
CO |
ppm |
< 0.5 |
< 0.02 |
CO2 |
ppm |
< 0.5 |
< 0.01 |
SiF4 |
ppm |
< 0.5 |
< 0.1 |
SF6 |
ppm |
< 0.5 |
< 0.1 |
HF |
ppm |
< 5 |
0.19 |
Al |
ppb |
≤ 10 |
< 0.020 |
Como |
ppb |
≤ 10 |
< 0.001 |
B |
ppb |
≤ 10 |
< 0.005 |
Ca |
ppb |
≤ 5 |
< 0.200 |
Cd |
ppb |
≤ 2 |
< 0.001 |
Cr |
ppb |
≤ 10 |
< 0.020 |
Fe |
ppb |
≤ 10 |
< 0.007 |
K |
ppb |
≤ 5 |
< 0.100 |
- Não |
ppb |
≤ 10 |
< 0.001 |
Não. |
ppb |
≤ 5 |
< 0.040 |
- Não. |
ppb |
≤ 0.1 |
< 0.001 |
Ti |
ppb |
≤ 10 |
< 0.002 |
Li |
ppb |
≤ 10 |
< 0.002 |
U |
ppb |
≤ 0.05 |
< 0.001 |
Zn |
ppb |
≤ 10 |
< 0.005 |
Sim |
ppb |
≤ 10 |
< 0.100 |
Pb |
ppb |
≤ 10 |
< 0.001 |
P |
ppb |
≤ 2 |
< 0.300 |
Mg |
ppb |
≤ 10 |
< 0.020 |
Não. |
ppb |
≤ 20 |
< 0.030 |
Cu |
ppb |
≤ 5 |
< 0.005 |
Mo. |
ppb |
≤ 10 |
< 0.001 |
Impuridades totais de outros metais |
ppb |
≤ 500 |
< 0.0010 |
Fotos detalhadas

Perfil da empresa

Shanghai Kemike Chemical Co., Ltd é composta por pessoal treinado, combinar muitos anos de experiência na indústria de gás.Nós fornecemos cilindro de gás, gás eletrônico, etc. e o suporte de gás, painel,Válvulas e acessórios e outros equipamentos, peças e serviços de engenharia para os nossos clientes na China e em todo o mundo; Os produtos estão envolvidos em vários campos industriais, tais como chips de semicondutores, células solares, LED, TFT-LCD, fibra óptica,vidroA nossa missão é colaborar com os nossos clientes globais para fornecer apoio, soluções e produtos de qualidade que sejam inovadores, fiáveis e seguros.
Os nossos produtos incluem principalmente: H2, O2, N2, Ar, CO2, propano, acetileno, hélio, gás misto a laser, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, gás misto dopante (TMB, PH3,B2H6) e outros gases electrónicos.