O princípio do controlador de fluxo de massa/medidor de fluxo de massa de gás/medidor de fluxo de gás de massa térmica para gás como nitrogénio, gás natural, argônio, CO2 etc.é que um fluido que flui através de um sensor de temperatura aquecido remove uma quantidade conhecida de calor à medida que passa- Num medidor de caudal térmico, o fluido tem de passar por dois sensores de temperatura. Um dos sensores obtém um valor de referência através da medição da temperatura real do processo.O segundo sensor é um elemento de aquecimento e recebe exatamente a energia necessária para compensar o calor disperso e manter uma diferença de temperatura definida com precisãoQuanto maior for o caudal de massa através do sensor de temperatura aquecido, mais calor é dissipado e mais energia tem de ser introduzida no elemento para manter a diferença de temperatura.
Oxigénio, nitrogénio, hidrogénio, cloro e gás misto de alto forno, gás de combustível, biogás, ar comprimido, gás natural, gás liquefeito, ar primário e secundário, etc.