O bloco cerâmico é feito de pó de alumina de alta pureza e ultrafinos por cura a alta temperatura.
Principais características
Alta pureza, menos impurezas, alta dureza, resistência ao desgaste e à corrosão.
Alta precisão, pequeno coeficiente de expansão térmica e boa retenção de precisão, boa resistência ao desgaste e à corrosão.
Aplicação
É utilizado principalmente para o afinamento, polir duro e polir CMP de substratos de LED e wafers de semicondutores ((wafer de safira, wafer de SiC, wafer de silício, wafer de germânio, wafer de GaAs, wafer de GaN, etc.).
Especificações