Fornalha de tubo rachada alta do laboratório PECVD da temperatura com tubo de quartzo
 
Introdução inteligente de PECVD:
O sistema de PECVD é projetado diminuir a temperatura da reação do CVD tradicional. Instalou o equipamento da indução do RF na frente do CVD tradicional para ionizar a reação do gás, assim que o plasma é gerado. A atividade alta do plasma é reação é acelerado devido à atividade alta do plasma. Assim, este sistema é chamado PECVD.
Este modelo é o produto o mais novo, sintetizou as vantagens da maioria de sistemas do tubo PECVD, e adicionou uma zona pré-aquecendo na parte dianteira do sistema de PECVD. Os testes mostraram que a velocidade do depósito é mais rápida, a qualidade do filme são melhores, os furos são menos, e não se racharão. O sistema de controlo inteligente totalmente automático de AISO é projetado independentemente por nossa empresa, é mais conveniente operar-se e sua função é mais poderosa.
Escala larga da aplicação: metal o filme, filme cerâmico, filme composto, o crescimento contínuo de vários filmes. Fácil aumentar a função, pode expandir gravura em àgua forte da limpeza do plasma e outras funções
 
 
Característica principal:

• Taxa de depósito alta do filme: A tecnologia do fulgor do RF, aumentando extremamente a taxa de depósito do filme, a taxa de depósito pode alcançar 10Å/S
   
• Uniformidade alta da área: A tecnologia de alimentação do RF do multi-ponto avançado, a distribuição especial do trajeto do gás, e a tecnologia de aquecimento, etc., fazem o alcance 8% do índice da uniformidade do filme
   
• Consistência alta: usando o conceito de projeto avançado da indústria do semicondutor, o desvio entre as carcaças de um depósito é menos de 2%
   
• Estabilidade alta do processo: O equipamento altamente estável assegura um processo contínuo e estável

 
 
Sobressalentes do padrão:

• Obstruindo PCes do tubo 4
• PC do tubo de fornalha 1
• PC da bomba de vácuo 1
• Grupos da flange 2 da selagem do vácuo
• PC do calibre de vácuo 1
• Bomba da entrega & de vácuo do gás
• Equipamento do plasma do RF

 
Sobressalentes opcionais:
 

• Flange da liberação rápida, flange tripartido
• 7 seixos do toque da polegada HD

 
 
 
Especificação padrão rachada de fornalha de tubo do laboratório PECVD:
 

 
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