1,Descrição:
Material: Molibdênio Os alvos de pulverização são feitos de molibdênio, um metal refratário conhecido por seu alto ponto de fusão, excelente condutividade térmica e elétrica e resistência à corrosão.O molibdênio é amplamente utilizado em aplicações de pulverização.
Forma e Estrutura: Os alvos de pulverização de molibdênio são tipicamente em forma de disco ou retangular.Os alvos podem ser sólidos ou ligados a uma placa de suporte para apoio adicional.
Alta pureza: Os alvos de pulverização de molibdênio estão disponíveis em graus de alta pureza, garantindo impurezas mínimas que possam afetar a qualidade dos filmes finos.A alta pureza é crucial para aplicações na fabricação de semicondutores, revestimentos ópticos e pesquisa de películas finas.
Desempenho de pulverização: Os alvos de pulverização de molibdênio apresentam um excelente desempenho de pulverização, permitindo a deposição de filmes finos de alta qualidade.Erosão uniforme, e altas taxas de deposição, resultando numa espessura de película precisa e consistente.
Conductividade térmica e elétrica: Os alvos de pulverização de molibdênio possuem uma elevada condutividade térmica e elétrica, facilitando uma dissipação de calor eficiente durante o processo de pulverização.Isso ajuda a manter a integridade do alvo e garante desempenho de pulverização estável.
Resistência à corrosão: Os alvos de pulverização de molibdênio possuem boa resistência à corrosão, tornando-os adequados para uso em vários ambientes e processos de pulverização.Podem resistir aos gases reativos e às condições plasmáticas encontradas durante a pulverização.
2Especificações:
Propriedade física | Descrição |
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Materiais | Molibdênio |
Purificação | Disponíveis graus de alta pureza |
Forma | De peso superior a 200 g/m2 |
Ponto de fusão | 2,623°C (4,753°F) |
Densidade | 10.2 - 10,3 g/cm3 |
Conductividade térmica | 138 - 142 W/m·K |
Conductividade elétrica | 25 a 30% IACS (International Annealed Copper Standard) |
Resistência à corrosão | Boa resistência à corrosão |