A Wafer de Silício Fundido é uma wafer monocristalina de grau óptico feita de material de quartzo, também conhecido como quartzo fundido ou sílica fundida.como a gama de transmissão a partir de 0.17 a 2.1um, 0.26 a 2.1um e 0.0185 a 3.5um, deformação inferior a 35um, modelos FLH como JGS1, JGS2, JGS3 e F-HUV, segundo plano por solicitação e rugosidade da superfície Ra inferior a 1.0nm.Em comparação com outros materiais, tais como placas de silicato de cálcio e vidro de borosilicato, tem maior transmissão óptica, menor coeficiente de expansão térmica e melhor homogeneidade.janelas, e prismas.
Materiais | Sílica fundida por UV, quartzo fundido (JGS1, JGS2, JGS3) | ||||||
Especificações | unidade | 3 ¢ | 4 ¢ | 5" | 6" | 8" | 12" |
Diâmetro (ou quadrado) | mm | 76.2 | 100 | 125 | 150 | 200 | 300 |
Tol (±) | mm | < 0,1 a 0,25 mm | |||||
Espessura mais fina | mm | > 010 | > 010 | > 030 | > 030 | > 030 | > 050 |
Flat primário | mm | 22 | 32.5 | 42.5 | 57.5/marca | embocadura | embocadura |
LTV (5mmx5mm) | μm | < 2 | < 2 | < 2 | < 2 | < 2 | < 10 |
TTV | μm | < 8 | < 10 | < 15 | < 20 | < 30 | < 30 |
Incline-se. | μm | ± 20 | ± 25 | ± 40 | ± 40 | ± 60 | ± 60 |
Warp. | μm | < 30 | < 40 | < 50 | < 50 | < 60 | < 60 |
PLTV ((< 0,5um) | % | ≥ 95% ((5 mm*5 mm) | |||||
Transmissão | Opção UV, Óptica, IR ou Personalizada | ||||||
Arredondamento da borda | mm | Conforme com a norma SEMI M1.2/referência à IEC62276 | |||||
Tipo de superfície | Polido de lado único/polido de lado duplo | ||||||
Lado polido Ra | nm | < 1,0 nm ou específico conforme solicitado | |||||
Critérios do lado de trás | μm | Geral é 0,2-0,5μm ou conforme personalizado | |||||
Aparência | Contaminação | Nenhum | |||||
Partículas > 0,3 μm | <= 30 | ||||||
Marcas de serra, estrias | Nenhum | ||||||
Escarrapar | Nenhum | ||||||
Fissuras, marcas de serra, manchas | Nenhum |
Parâmetros | Especificações |
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Paralelo | 3 Sec. de Arco |
Warp. | < 35um |
Transmissão | IR, visível, DUV |
Densidade | 2.20 g/cm3 |
Certificado | ISO9001, RoHS |
Teor de OH | < 5 ppm, < 10 ppm, < 100 ppm |
Limite de prejuízo | > 10 J/cm2 |
Modelo FLH | JGS1, JGS2, JGS3, F-HUV |
Espessura | 0.1-10 mm |
Qualidade da superfície | 20 a 10 |
Materiais de laboratório de quartzo fundido | Silício fundido de alta pureza |
Vidro de silicato de alumínio | - Sim, sim. |
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