Bolacha de lustro mecânica química do Tantalate do lítio do ultravioleta à escala infravermelha
O tantalate do lítio (LiTaO3) tem características óticas piezoelétricas, eletro-óticas e não-lineares, e uma escala larga da transparência que vai do ultravioleta ao infravermelho. É desejável que a bolacha LiTaO3 era uma superfície lisa a fim funcionar com boa qualidade. O lustro mecânico químico (CMP) foi usado para planarize os circuitos integrados (CI) ou para obter uma qualidade de superfície alta das carcaças. Este papel investiga o efeito do ácido cítrico como um aditivo na pasta para CMP LiTaO3.
Escala de transmissão | 0.275 - µm 5,25; Transmitância alto de 0,4 – 4um |
R.I. | nenhuns = 2,139, ne = 2,139 @633 nanômetro |
Perda de reflexão | µm 13.17%@0.633 |
Densidade | 7,4564 g/cm3 |
Ponto de derretimento | 1650°C |
Peso molecular | 235,89 |
Condutibilidade térmica | 4,6 W/m·K; 8,78 W/m·K |
Especs. Capacidade de calor | 424 J (K·quilograma) |
Dureza (Mohs) | 750 |
Constante dielétrica | 41-53 @298K |
Solubilidade na água | insolúvel |
Crystal Structure | Único de cristal, sintético |
Crystal Type | trigonal, = uns 5,15 Å c = 13,77 Å |
Planos da segmentação | nenhuma segmentação |
Aplicação | eletro Q-interruptor ótico, carcaça ótica integrada, sensor, conversor de frequência |
Produto | Bolacha do Tantalate de Ltihium | |
Diâmetro | 3inch | 4inch |
76.2mm | 100mm | |
Espessura | 0.07mm acima | 0.1mm acima |
Plano preliminar | 22mm | 32.5mm |
S/D | 20/10 | 20/10 |
TTV | <3um | <3um |
PLTV | >95% | >95% |
Urdidura | <20um | <40um |
CURVA | <20um | <30um |
Ra | <0.5nm | <0.5nm |
Redução | Branco padrão Preto reduzido | Branco padrão Preto reduzido |
Narcótico | O Fe lubrificou Preto amarelo | O Fe lubrificou Preto amarelo |
FAQ:
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Verificação de aceitação