Ni PVD que engasga a planta de revestimento, vácuo do Cr que metaliza o sistema, equipamento do chapeamento do vácuo de /Ag do Sn, planta do chapeamento de cobre

Estrutura do equipamento:

A máquina de RTAC1215-SP é um tipo octcal, que consistindo nas bombas de vácuo, na câmara de vácuo que montaram 8 cátodos do arco, 1 fonte de íon linear, 2 grupos de C.C. que engasgam os cátodos e o 1 par de MF que engasgam cátodos.  A fonte de íon, engasgando cátodos montou as flanges standized que podem ser trocadas baseadas flexiblely na procura do processo realmente de revestimento.

Aplicações:

1. Indústria para as peças de selagem cerâmicas, processo do DPC do DPC, PVD de cobre que engasga o sistema, diodo emissor de luz Chips With Cooper Plating cerâmico, Al₂ O₃, placas de circuito cerâmicas de AlN, placas Al2O3 no diodo emissor de luz, semicondutor

2. prata, Ni, Chrome, ouro, alumínio, filmes e lata do metal dentro, do Sn etc., TiAlN, tique, TiO, centro de detecção e de controlo, CrCN, CrN etc.

Vantagens:

1. Produção rentável

2. Humanização da estação de trabalho (projeto ergonômico da estação de trabalho, da minimização do espaço, do ruído e do perigo do acidente)

3. Rendimento de alta qualidade.

4. Adesão forte com dispositivo do aquecimento e limpeza poderosos da fonte do plasma;

5. Design compacto e com acesso fácil para o trabalho do melhoramento e de manutenção.

6. Inteiramente automatização, tela de PLC+Touch, sistema de controlo do um-toque.

7. Eficiência elevada com menos consumo de potência, poupança de despesas da produção do máximo 50%.

Especificações técnicas:

• Desempenho

1. Pressão final do vácuo: melhor do que Pa 9.0*10-5;

• Pressão baixa do vácuo: Pa 3.0*10-2

3. Tempo ocioso da máquina de bombeamento: do atm à câmara limpo e vazio dos minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (temperatura ambiente, seco,)

4. Fonte do depósito: O magnétron de Gencoa que engasga cátodos, dirigiu cátodos do arco, fonte de íon

5. Modelo de funcionamento: Completamente automaticamente /Semi-Auto/ manualmente

6. Aquecimento: da temperatura ambiente até 500℃ máximo,

9. Fonte de íon para o processo de PECVD e de PA PVD.

• Estrutura

A máquina de revestimento do vácuo contém terminado o sistema chave alistado abaixo:

1. Câmara de vácuo
1,1 tamanho: Diâmetro interno: 1200mm

Altura interna: 1500mm

1,2 material: Câmara de vácuo SUS304

Porta e flanges SUS304

A câmara reforça a estrutura: Aço SS41 suave, com tratamento de superfície de terminação pintado.

Aço suave do chassi SS41 da câmara com tratamento de superfície de terminação pintado.

1,3 protetor da câmara: SUS304

1,4 janela da vista: 2 na porta

1,5 válvula de ventilação da câmara de vácuo (que inclui o silenciador)

1,6 porta: Material SUS304

2. Sistema de bombeamento Roughing do vácuo:
Bomba de vácuo giratória da aleta do óleo + guardando a bomba

• Sistema de bombeamento do vácuo alto:

Magneticamente bomba molecular da suspensão - 2 grupos

4. Sistema elétrico de ScreenOperation do toque do sistema PLC+ do controle e da operação:

Fornecedores:

PLC: Mitsubishi + tela táctil (feito em China)

Componentes eletrônicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de proteção da segurança: Interruptores de segurança numerosos para proteger operadores e equipamento (água, gás atual, temperatura etc.)

Sistema de revestimento dos processos: Automatização & controle de processo.

4,1 circuito principal: interruptor do disjuntor do Nenhum-fusível, interruptor eletromagnético, tipo de C/T em série

4,2 fonte de alimentação: DC/MF que engasga a fonte do poder do arco do poder + da C.C. + da alimentação da polarização

4,3 sistema de controlo do depósito

4,4 sistema da operação: Tela táctil + PLC, controle da receita e registro de dados, auto parada programada, auto evacuação, auto revestimento

4,5 sistema de medição

Pressão do vácuo: Calibre de vácuo: Pirani + encerrando o calibre + calibre de vácuo da série completa -- Tipo de Europa

Dispositivo de medição da temperatura: Par termoelétrico
MFC: Controlador do fluxo maciço (4 maneiras),

4,6 sistema de alarme: Pressão de ar comprimido, volume de água refrigerando, Mis-operação

4,7 indicador da carga do poder: Indicador da tensão e indicador atual da carga

5. sistema do depósito

5,1 fonte do depósito: Engasgando fontes + Ion Source do arco de cathodes+

5,2 material do depósito: Cobre, alumínio, Chrome, prata, ouro, SS, titânio etc.

6. Subsistema

6,1 sistema de controlo comprimido da válvula do ar

6,2 abastecimento de água refrigerando: Sistema da válvula da tubulação e do interruptor do volume de água

• Ambiente de trabalho

Ar comprimido: 5~8kg/cm2

Água refrigerando: Água-Na temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Água-Na pressão: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de potência média: 60KW

Área da instalação: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Exaustão: Respiradouro para as bombas mecânicas

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