Capacidade da fonte :
100 grupos/ano
Prazo de entrega :
60 dias de trabalho
Detalhes de empacotamento :
Caso de madeira, filme plástico
Estrutura :
Porta frontal única vertical
Material da Câmara de Vácuo :
Aço inoxidável
Tamanho interno de câmara de vácuo :
Personalizado
Grupo de bombas :
Bomba de Palhetas Rotativas+Bomba de Raízes+Bomba de Difusão
Fonte de alimentação de polarização :
1 Conjunto