Descrição do produto:

* Alumínio com revestimento duro liso e resistente ao desgaste

* Resistente ao calor até 350°C (Al)

* Parafusos de entrada e forma suave

* Projeto de acordo com a norma SEMI

Aplicações:

* As wafers são processadas numa cassete a temperaturas superiores a 43° C - o limite superior do limiar estrutural típico para as cassetes de processamento de plástico.

* Inclui aplicações de deposição química de vapor (CVD), processamento térmico rápido (RTP) e recozimento de wafer.
Bakeout- Aplicações de cozimento térmico a longo prazo em que as wafers precisam ser deixadas no forno por vários dias.

* Equipamento de processo em que a temperatura de inserção da wafer (que é retirada da ferramenta de processo) excede o ponto de fusão da caixa de plástico.

* Ambientes Internos Cassetes - Ambientes de automação de ferramentas em cluster em que as cassetes estão inativas num ambiente de vácuo aquecido (câmara) para várias etapas de processo.

* Requisitos de precisão do transportador - Ambientes automatizados a calor moderado exigem uma precisão dimensional que as cassetes de plástico não podem fornecer.

* Personalização disponível mediante pedido. Manipulação de wafers finas - Durante o manuseio de wafers finas, wafers finas afiadas são cortadas na caixa de plástico.Wafer grosso - Aplicações de ligação ou de wafer grosso em que não se podem utilizar cassetes de plástico padrão do setor devido ao tamanho da ranhura.

Parâmetros técnicos:

* Caixa de processamento de alumínio: (Al, HC) 8 - 25 slot, slot inclinado (padrão)

* Tamanhos: selecione o tamanho da tampa (superior), da tampa (inferior) (superior), do H-BAR personalizado (inferior) H-BAR (superior)

* Alumínio, resistente à abrasão, revestimento duro liso

* Ranhuras e formas suaves

* Concebido de acordo com as normas SEMI

Certificados e patentes:

Embalagem e transporte: