Titânio que engasga o alvo 99,5%, os 99,95% D100x40mm, D65x6.35mm

A pureza é o índice principal do desempenho do material de alvo, porque a pureza do material de alvo tem uma grande influência no desempenho do filme.

Exigências de desempenho principais do material de alvo:

A pureza é o índice principal do desempenho do material de alvo, porque a pureza do material de alvo tem uma grande influência no desempenho do filme. Contudo, na aplicação prática, as exigências da pureza do alvo não são as mesmas. Por exemplo, com o desenvolvimento rápido da indústria da microeletrônica, o tamanho do chip de silicone esteve desenvolvido de 6", 8" a 12", quando a largura prendendo for reduzida de 0.5um a 0.25um, a 0.18um ou mesmo a 0.13um. Previamente, 99,995% da pureza do alvo podem cumprir as exigências do processo de 0.35um IC, quando a preparação da linha 0.18um exigir 99,999% ou mesmo 99,9999% da pureza do alvo.

As impurezas no sólido do alvo e no vapor do oxigênio e de água nos poros são as fontes principais da poluição. Os materiais de alvo diferentes têm exigências diferentes para o índice de impureza diferente. Por exemplo, o alumínio puro e os alvos da liga de alumínio para a indústria do semicondutor têm exigências diferentes para o índice alcalino e o índice do elemento radioativo.

A fim reduzir a porosidade no sólido do alvo e melhorar as propriedades de filmes engasgados, o alvo é exigido geralmente para ter um alto densidade. A densidade do alvo afeta não somente a taxa engasgar, mas igualmente afeta as propriedades elétricas e óticas do filme. Mais alta a densidade do alvo é, melhor o desempenho do filme é. Além, aumentar a densidade e a força do alvo pode fazer o alvo melhor suportar o esforço térmico no processo engasgar. A densidade é igualmente o índice do desempenho chave do alvo.

Geralmente, o material de alvo é estrutura policristalina, e o tamanho de grão pode ser do micrômetro ao milímetro. Para o mesmo tipo do alvo, a taxa engasgar do alvo com tamanho de grão pequeno é mais rápida do que aquela do alvo com grande tamanho de grão, quando a distribuição da espessura do filme depositado pelo alvo com diferença pequena do tamanho de grão (distribuição uniforme) for mais uniforme.