Deposição de Magnetron Sputtering na Indústria de Gravação Óptica

Formulários

Princípio de trabalho

O princípio de funcionamento do magnetron sputtering é que os elétrons colidem com os átomos de argônio no processo de voar para

o substrato sob a ação do campo elétrico, e torná-los cátions Ar ionizados e novos elétrons.enquanto o novo

elétrons voando para o substrato, íons Ar voam para o alvo cátodo em alta velocidade sob a ação do campo elétrico

e bombardear a superfície do alvo com alta energia para fazer o alvo crepitar.Entre as partículas pulverizadas,

átomos ou moléculas alvo neutros são depositados no substrato para formar filmes, no entanto, o secundário gerado

elétrons derivam na direção indicada por E (campo elétrico) × B (campo magnético) sob a ação de eletricidade e

campos magnéticos (“deslocamento E×B”), seus caminhos de movimento são semelhantes a uma cicloide.Se sob um campo magnético toroidal, o

os elétrons se moverão em um círculo aproximado ao cicloide na superfície do alvo.Não apenas os caminhos de movimento do elétron são

razoavelmente longos, mas também são limitados na região do plasma perto da superfície do alvo, onde bastante Ar é ionizado

para bombardear o alvo, realizando assim a alta taxa de deposição.À medida que o número de colisões aumenta,

os elétrons gastam sua energia, gradualmente se afastam da superfície alvo e finalmente se depositam no substrato

sob a ação do campo elétrico.Devido à baixa energia desse elétron, a energia transferida para o substrato é muito

pequeno, resultando em menor aumento de temperatura do substrato.

Características

Amostra de Revestimento

Etapas do processo

→ Colocar o substrato para revestimento na câmara de vácuo;

→ Aspirar grosseiramente;

→ Ligue a bomba molecular, aspire na velocidade máxima, depois ligue a revolução e a rotação;

→ Aquecimento da câmara de vácuo até que a temperatura atinja o alvo;

→ Implementar o controle de temperatura constante;

→ Elementos limpos;

→ Revolver e voltar à origem;

→ Filme de revestimento de acordo com os requisitos do processo;

→ Abaixar a temperatura e parar o conjunto da bomba após o revestimento;

→ Pare de trabalhar quando a operação automática terminar.

Nossas vantagens

Nós somos fabricante.

Processo maduro.

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